【摘 要】
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介绍了一种采用柔性铰链构成的罗伯威尔结构和ＡＴ－切精密石英谐振器组成的石英谐振式力传感器。柔性铰链无间隙、无机械摩擦、充分体现材料的性能，传感器只由弹性体和谐振器两个部
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介绍了一种采用柔性铰链构成的罗伯威尔结构和ＡＴ－切精密石英谐振器组成的石英谐振式力传感器。柔性铰链无间隙、无机械摩擦、充分体现材料的性能，传感器只由弹性体和谐振器两个部分组成，力的传递环节少，误差小可靠性高。通过调整柔性铰链的尺寸，可以得到不同量程的传感器。解决了整体式石英谐振式力传感器加工困难、成本高和组合式环节多、精度不高的缺点，为石英谐振式力传感器找到了一种较为合适的结构，使石英本身优良的性能得到发挥。研制了精度较高、成本较低、数字量输出的石英谐振式力传感器，并且给出了传感器的精度指标。
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