【摘 要】
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在广义梯度近似（GGA）下，利用超软赝势对真空条件下SrTiO3超晶胞的体系能量、原子间电子云重叠布局数和电子态密度等进行了自恰计算．结果显示，对有氧缺陷的超晶胞优化后，晶格参数的
【机 构】
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四川师范大学化学系,电子科技大学微电子与固体电子学院
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在广义梯度近似（GGA）下，利用超软赝势对真空条件下SrTiO3超晶胞的体系能量、原子间电子云重叠布局数和电子态密度等进行了自恰计算．结果显示，对有氧缺陷的超晶胞优化后，晶格参数的几何平均值增大了2.711％，这表明在高温条件下外延生长STO薄膜时，产生了氧缺陷，并且氧空住易处于薄膜表层；另外，表层氧缺陷使表层Ti原子明显的发生偏心住移，两个Ti原子的核间距由0.3905nm增大至0.4234nm，b轴上的氧原子则向中心靠近了0.0108nm、并沿c轴方向上突了0.0027nm，使STO晶体产生自发极化，
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