金刚石膜断裂强度分布研究

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mazipeng
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金刚石膜已在切削刀具、耐磨部件和光学窗口等领域开拓应用。作为光学窗口厚度确定、切削刀具的抗冲击性都与金刚石膜的断裂强度相关。CVD金刚石膜的力学性能的稳定性直接关系到它的应用和市场开发。为此 ,我们对金刚石膜断裂强度—位置的关系进行了研究。本文介绍了以三点弯曲法测试金刚石膜不同部位 (中心、边部 )以及实际生产中发现的易裂金刚石膜的断裂强度。结果发现断裂强度确有不同 :膜片中央约 2 5mm直径内断裂强度为6 1 3MPa ,靠近的环部 ( 2 5~ 45mm内 )断裂强度为 734MPa ,同时虽然膜片
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