【摘 要】
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CuO ZnO异质结气敏传感器是一种新型的气敏传感器 ,它有成本低、工艺简单、检测方便等众多优点。本工作主要研究了CuO和ZnO不同比例情况下 ,该传感器的气敏性能。测试了它的
【机 构】
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CuO ZnO异质结气敏传感器是一种新型的气敏传感器 ,它有成本低、工艺简单、检测方便等众多优点。本工作主要研究了CuO和ZnO不同比例情况下 ,该传感器的气敏性能。测试了它的阻温特性及在不同温度、不同气氛条件下器件的灵敏度 ,并从理论上对测试结果及敏感机理进行了分析和讨论。
CuO ZnO heterojunction gas sensor is a new type of gas sensor, which has many advantages such as low cost, simple process and convenient testing. This work mainly studies the gas sensitivity of CuO and ZnO under different ratios. The temperature-resistance characteristics of the device and the sensitivity of the device under different temperature and atmosphere conditions were tested. The test results and the sensitive mechanism were theoretically analyzed and discussed.
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