MOCVD法制备Fe／Mo功能梯度材料

来源 :西南师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：gogoboy725

【摘要】

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利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法,以Mo(CO)6,Fe(CO)5为物源,在Al2Oa陶瓷基片上制备了Fe/Mo功能梯度材料,并用XPS,XRD,SEM和台阶仪等技术对其成分分布、物相组成、表面形

【作者】

：

郑慧雯章娴君

【机构】

：

西南师范大学化学化工学院

【出处】

：

西南师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2004年6期

【关键词】

：

MOCVD法制备并用 AL2O3陶瓷表征基片组成连续梯度 XPS functional gradient material metal organ

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利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法,以Mo(CO)6,Fe(CO)5为物源,在Al2Oa陶瓷基片上制备了Fe/Mo功能梯度材料,并用XPS,XRD,SEM和台阶仪等技术对其成分分布、物相组成、表面形貌和厚度进行测试和表征.结果表明:材料的组成沿厚度方向呈连续梯度变化,符合功能梯度材料的变化规律.

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