【摘 要】
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实现平面转子的稳定悬浮是磁悬浮陀螺的关键所在。介绍了一种利用微细加工方法实现的磁悬浮陀螺仪模型的悬浮系统。在该悬浮系统中，利用电感检测的方法获取转子的位置信号，并对
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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实现平面转子的稳定悬浮是磁悬浮陀螺的关键所在。介绍了一种利用微细加工方法实现的磁悬浮陀螺仪模型的悬浮系统。在该悬浮系统中，利用电感检测的方法获取转子的位置信号，并对该信号进行PID处理，再将其用于控制悬浮线圈中的电流大小对悬浮力进行控制，最终实现了平面转子的稳定悬浮。文中进行了系统建模，对系统悬浮力进行分析，同时利用Mat lab／simulink对其仿真，得出了转子位置的动态响应，并通过改变仿真参数，对系统结构、悬浮高度等参数进行优化。
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