x射线精确测定点阵常数专题总结

来源 :冶金分析与测试(冶金物理测试分册) | 被引量 : 0次 | 上传用户:lx90
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一.概况我们会同全国50多个单位完成五次多晶硅点阵常数精确测定。制订了用“X射线精确测定多晶硅点阵常数测试方法标准“草案”。并以“草案”为依据,对20个实验室衍射仪法及8个实验室的照相法的测试结果进行综合统计。 I. Overview We will be more than 50 units with the country completed five polysilicon lattice constant accurate determination. Developed a “standard X-ray determination of polysilicon lattice constant method,” the draft “and” draft "as the basis for the 20 laboratories and 8 laboratory method diffraction method of photographic results of a comprehensive statistics.
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