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为了提高精密矫直机测量工件挠度的精度和效率,提出了一种集成FPGA的在线亚像素边缘测量系统。详细介绍了利用线阵CCD对工件挠度进行非接触测量的系统原理和流程,利用CCD图像信号边缘梯度的特性,介绍了一种基于多项式插值且易于集成在FPGA的亚像素边缘检测算法。仿真实验证明,该测量系统重复性误差为0.18个像元,达到了亚像素测量精度。