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在使用了采用碳纤维的电子发射兀件的制造方法中,不需要使碳纤维生长用的高温工序或在基板上的高温合金化工序,可在低温下使碳纤维良好地生长,同时能以可更有效地施加在电子发射方面必要的电场的密度使碳纤维生长。以由Pd和从Fe、Co、Ni、Y、Rh、Pt、La、Ce、Pr、Nd、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Lu中选择的至少一种添加元素构成的合金粒子作为催化剂,在碳纤维的生成对象面上涂敷该合金粒子的分散液以设置该合金粒子,从而使碳纤维生长。