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目前,三氟乙酸-金属有机沉积(简称TFA-MOD)方法是制备YBa2Cu3O7-δ(简称YBCO)涂层导体最有应用前景的方法之一.系统地研究了TFA-MOD过程中低温热处理条件(升温速率和气氛)对在LaAlO3单晶基片上生长的YBCO薄膜的影响。研究结果表明,低温热处理的气氛为纯O2时,200～250℃区间的分解速度不能太快,否则YBCO薄膜就不均匀和致密,薄膜中会出现较多的孔洞,薄膜的面外取向性也较差,从而影响薄膜的超导性能,然而过慢的分解速度也会使薄膜表面有较大的CuO析出物。分解速度为0.08℃/min时才可以得到结构和超导性能良好的YBCO薄膜。同时研究也发现在低温热处理过程中如果采用Ar和2.5％O2混合气氛则可以减弱三氟乙酸盐分解的剧烈程度,从而使低温热处理的分解速度提高到0.8℃/min,得到的YBCO薄膜同样具有较好的面外取向性和超导性能。