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针对传统有线传感器需要布置大量线缆进行测试而造成测试成本比较高、产生故障几率比较大的不足,采用模块化设计方法研发出一种新型的基于MEMS技术的无线传感器。对构成无线传感器的五大模块：信号检测模块、微控制器模块、存储器模块、无线收发模块及电源模块等硬件集成电路进行了设计,并进行了软件实现。设计实验系统对所研发的传感器动态特性进行了研究,实验结果表明：所研发的传感器动态响应速度快,具有良好的线性度、重复稳定性,适用于结构的低频振动测试。