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利用直径小于80μm电极丝的微细电火花线切割加工技术可加工出表面粗糙度好、尺寸精度高的微小复杂零件。以加工带有螺旋结构的微小复杂零件为目标，设计了一套桌面式水平走丝微细电火花线切割加工装置，主要包括具有人机界面、任务规划和运动控制的开放式数控系统，走丝平稳、张力可控的分体式水平走丝机构，以及精确可控微小放电能量的纳秒级脉冲电源。