NH3-Ar气氛下制备的Zn3N2薄膜的结构和光学性能

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zn3n2是一种宽带隙半导体材料,在温度高于400℃氧化可生成p型zno:n,p型zno:n在电子学和光电子学领域有广泛的应用.在nh3-ar气氛下,用rf磁控溅射金属zn靶在玻璃衬底上室温制备了zn3n2薄膜.用紫外-可见分光光度计、x射线衍射仪、x射线光电子谱分析仪、荧光分光光度计对zn3n2薄膜的光学透过、光学吸收、结构、化学键态和光致发光进行了测量,研究了nh3分压对zn3 n2薄膜的结构和光学特性的影响.xrd分析表明zn3n2薄膜呈现多晶结构,具有(321)择优取向,zn3n2 (321)衍射
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