某微电子芯片厂厂房的微振动特性研究

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随着我国微电子芯片产业的迅猛发展,对于建设场地的要求越来越高。文章针对西南地区某微电子芯片厂三面环山,一面对铁轨的特殊厂址,进行了现场实测,分析了在列车、直升机和行人条件下的场地微振动情况,并最终给出了场地使用规划的建议和改造方案。
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