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现有成品率及关键面积估计模型中，假定缺陷轮廓为圆，而实际缺陷轮廓为非规则形状．本文提出了矩形缺陷轮廓的成品率模型，该模型与圆模型相比，考虑了缺陷的二维分布特性，接近真实缺陷形状及IC版图布线和成品率估计的特点．比较了新模型与真实缺陷及其圆模型引起的成品率损失，表明新模型在成品率估计方面更加精确，这对成品率精确估计与提高有重要意义．