【摘 要】
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<正> 一、前言电涡流传感器具有抗干扰性强、灵敏度高、线性范围宽、非接触测量、不受被测介质的影响等一系列优点,因此广泛应用于机械、航空、化工等部门。例如:在机械行业
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<正> 一、前言电涡流传感器具有抗干扰性强、灵敏度高、线性范围宽、非接触测量、不受被测介质的影响等一系列优点,因此广泛应用于机械、航空、化工等部门。例如:在机械行业中,对高精度磨床主轴回转精度分析、轴的振摆量小到1～2μm,甚至还要小,这么小的振摆量对测试仪器要求相当高,要求仪器具有高的动态分辨率,即高的信噪比。在机械加工中,工件尺寸的测量、轴回转热变形及金属板材厚度的在线测量,对仪器除要求高的分辨率外,更重要的是仪器的温度漂移要小。为进一步提高仪器的各项指标,我们研制了新的电涡流位移振幅测量
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