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结合目前国内外各种微电源的发展现状,总结微电源的研究成果,从理论上探讨了利用MEMS体硅加工工艺制作微燃料电池的可行性.指出了MEMS燃料电池的发展趋势,并对MEMS燃料电池研制过程中可能出现的困难提出了相应的解决方案.
MEMS微电源技术
【摘 要】
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结合目前国内外各种微电源的发展现状,总结微电源的研究成果,从理论上探讨了利用MEMS体硅加工工艺制作微燃料电池的可行性.指出了MEMS燃料电池的发展趋势,并对MEMS燃料电池研
【机 构】
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哈尔滨工业大学,中国电子科技集团公司
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2003年7期
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