体硅加工相关论文
概述了适用于惯导系统的单晶硅加速度计的设计思路和基本结构,并介绍了加速度计的核心部件单晶硅摆片和伺服线路的制造技术.测量结......
近年来由于半导体硅加工先进技术的引进，及圆片级封装(wafer level packaging)技术的不断提升，大幅的缩短了微机电与微光机电器......
与传统加速度计相比，微机械加速度计具有成本低、体积小、重量轻等优点，因而有着广泛的应用前景。本论文工作是针对一种新型三轴电容......
结合目前国内外各种微电源的发展现状,总结微电源的研究成果,从理论上探讨了利用MEMS体硅加工工艺制作微燃料电池的可行性.指出了M......
应用新的体硅加工技术和新的电极表面修饰方法,提出了一种新型电流型微电极传感器。以与IC兼容的硅作为基底材料,利用体硅加工工艺......
微机械陀螺一般都是利用科里奥利力来敏感角速度的振动陀螺。国内外研究的微机械陀螺主要是带驱动的微机械陀螺,而文中研制的无驱......
提出了将各向异性湿法腐蚀与各向同性湿法腐蚀相结合的复合工艺,通过控制刻蚀工艺参数进行体硅加工,成功刻蚀了硅基材料三维曲面回......
