【摘 要】
：
针对早期研制的激光直写装置存在的刻写速度慢、功能不够完善的缺点,重新设计并搭建了一套小型激光直写光刻系统。该系统采用波长405nm可高速模拟调制的单横模半导体激光器作
【机 构】
：
中国科学院上海光学精密机械研究所高密度光存储技术实验室,中国科学院大学,国家纳米科学中心,
论文部分内容阅读
针对早期研制的激光直写装置存在的刻写速度慢、功能不够完善的缺点,重新设计并搭建了一套小型激光直写光刻系统。该系统采用波长405nm可高速模拟调制的单横模半导体激光器作为刻写光源,结构更为简单紧凑;采用正弦振荡模式控制纳米平台运动,大幅度提高了刻写速度;增加了刻写光源功率校正功能、基于互补金属氧化物半导体(CMOS)相机的样品观察功能、蓝光共聚焦成像功能以及刻录光源功率衰减以实现一般光刻胶刻写的功能。通过记忆调焦数据,刻写蓝光、辅助聚焦红光以及样品观察绿光三束光分时工作,互不干扰。实验表明,该光刻系统可在光敏薄膜材料上进行打点、刻画矢量和标量图形等多种操作,刻写范围200μm×200μm,最少用时100s,刻写分辨率在250nm以内。
其他文献
在光学相干层析无创血糖检测中,由于人体皮肤各层组织物质分布并不均匀,且不同种类组织对于血糖变化的相关性也并不一致,因此如何正确地选择皮肤内部用于标定的组织相关区域,
肉品质是指与鲜肉或加工肉的外观和适口性等相关的一些特性,包括肉的色泽、结构、硬度、大理石纹和肌肉系水力等。羊肉品质的物理特性决定着消费者对肉品的可接受性,而化学成
两大"结构性失衡"是当前新农村建设面临的主要困难;实现"以工补农,以城带乡"必须首先调整不合理的法律法规;不断提高农民的组织化程度是解决"三农"问题的必由之路;资源集约型
为了解引起石河子地区规模化奶牛场隐性乳房炎奶牛源大肠杆菌的流行情况及其耐药性,本试验采用兰州乳房炎检测板(Lanzhou mastitis test,LMT)对石河子地区11个规模化奶牛场进
借助"中国城乡困难家庭社会政策支持系统建设项目"的调查结果发现,家庭成员无劳动能力、疾病和失业是困扰中国贫困家庭的三大困境,家庭脱贫能力削弱。在困境差异性方面,贫困
microRNA(miRNA,miR)是一类调控基因,在心血管系统中的角色和功能的相关研究甚多。在生理状态下,miR-1和miR-133调控心肌细胞分化、心脏形态的形成及心肌细胞凋亡。在病理状
<正>东亚金融危机的原因首先,让我们重新检讨一下1997~1998年的亚洲货币危机(也称作东亚货币危机),看看它基本的源头在什么地方?为什么会发生货币危机?另外,笔者10年前曾提出
L-异亮氨酸与3,3’,4,4’-联苯四甲酸二酐在乙酸中回流反应制得具有联苯酰亚胺结构的手性N,N’-(4,4’-二邻苯二甲酰基)-二[(S)-(+)-异亮氨酸](3);以3和二苯基甲烷二异氰酸酯
任何一位作家都不可能回避人类最根本的问题———生命的存在。生命的对立面是死亡，在死亡的面前，生命就更显示出其意义的宝贵。生与死的对立是文学最重要的母题。本文试图得出
建筑工程市场乱象纷呈,各种违法违规现象未得到有效治理,如非法转包、违法分包、资质挂靠等等。由于这些现象没有得到治理,直接导致了“实际施工人”群体的出现和不断扩大。