标准测试数据格式(STDF)文件的研究

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介绍了半导体测试中的良率数据记录格式。阐述了标准测试数据格式(STDF)的优点以及结构。给出了将STDF用于半导体测试过程中,以减少花费、增加效率、缩短良率提升时间测试数据标准化的新思路。
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