【摘 要】
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采用燃烧合成和放电等离子烧结方法制备锂掺杂ZnO陶瓷靶材.利用XRD,SEM,TEM和激光粒径分析等手段分析合成粉体与陶瓷的显微结构.结果表明,锂掺杂ZnO粉体与陶瓷均为纤锌矿结构
【机 构】
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北京科技大学材料物理与化学系,北京科技大学新金属材料国家重点实验室
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(2007CB936201);科技部国际科技合作计划项目(2006DFB51000);国家863计划(2006AA03Z351);国家自然科学基金国际合作与交流项目(重大)(50620120439)资助
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采用燃烧合成和放电等离子烧结方法制备锂掺杂ZnO陶瓷靶材.利用XRD,SEM,TEM和激光粒径分析等手段分析合成粉体与陶瓷的显微结构.结果表明,锂掺杂ZnO粉体与陶瓷均为纤锌矿结构,无其他相存在;粉体的粒径分布为0.18-1.7μm,烧结体致密度较高,晶粒尺寸为1-3μm.此外,分析锂元素在烧结过程中引起掺杂缺陷变化,锂元素由ZnO晶格的间隙位置转移为替代锌晶格位置,实现受主掺杂,为实现p型ZnO薄膜的制备奠定基础.
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