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利用有限元数值分析方法，对球形刚性压头压入由金属膜与硅基体组成的膜－基体系的加载过程进行了模拟计算。建立了薄膜硬化指数同载荷－位移曲线的特征值， 服强度，硬化指数及扬氏模量同最大压入载荷间的关系。据此，可由纳米压入仪实测所得载荷－位移曲线的特征值与最大压入载荷，确定金属薄膜材料的应变硬化指数和屈服强度。