牺牲层腐蚀二维数值模拟与仿真

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ydahu

【摘要】

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建立了基于扩散方程的二维腐蚀模型,并给出相应的边界条件.为求解二维扩散方程,分别给出了有限差分显式和隐式求解算法.得到了每一时刻溶液在具体位置的浓度值,再由Topograph

【作者】

：

李艳辉李伟华

【机构】

：

东南大学MEMS教育部重点实验室

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2006年7期

【关键词】

：

牺牲层腐蚀扩散方程差分算法 sacrificial layer etching diffusion equation difference algorith

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建立了基于扩散方程的二维腐蚀模型,并给出相应的边界条件.为求解二维扩散方程,分别给出了有限差分显式和隐式求解算法.得到了每一时刻溶液在具体位置的浓度值,再由Topography模型计算腐蚀前端面的腐蚀情况得到腐蚀前端行进轮廓线.编程实现了对多种不同牺牲层几何结构以及组合结构腐蚀过程的仿真,最后实验验证了模拟的真实性.

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