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分析了升高模式扫描电容显微镜 (LM SCM)的工作原理 ,得出了像的对比度正比于样品表面电容梯度分布 ,且在一定针尖 样品模型下 ,也可得到样品表面的电容分布。利用LM SCM研究了金电极的表面电容梯度分布 ,其横向分辨率优于 5 0nm ,显示出其在纳米电子学中的巨大应用前景
升高模式扫描电容显微镜
【摘 要】
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分析了升高模式扫描电容显微镜 (LM SCM)的工作原理 ,得出了像的对比度正比于样品表面电容梯度分布 ,且在一定针尖 样品模型下 ,也可得到样品表面的电容分布。利用LM SCM研
【机 构】
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安徽中医学院物理系,北京大学电子学系
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2002年01期
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