【摘 要】
：
为了对MEMS的微结构平面运动特性参数进行提取和分析,基于机器微视觉构建MEMS动态测试系统,提出模糊图像合成技术.在连续光照明下获取微结构运动图像,利用光学检测方法增强模
【机 构】
：
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京大学微电子学研究院
论文部分内容阅读
为了对MEMS的微结构平面运动特性参数进行提取和分析,基于机器微视觉构建MEMS动态测试系统,提出模糊图像合成技术.在连续光照明下获取微结构运动图像,利用光学检测方法增强模糊特征带,引入亚像素定位技术提取特征结构边缘,最终获得微结构的平面运动特性参数.实验结果表明,该系统测量误差小于100 nm,具有较好的测量重复性精度.与现有系统相比,该系统测量原理简单,实现方便,且能满足微结构的测试需求.
其他文献
市场是打拼出来的,品牌是营销出来的。离开了酒文化的产品,即使市场投入再多,结局往往也是昙花一现。富裕老窖主管销售的副总经理陈凤阁说：＂业界所谓‘三年喝倒一个牌子’,非消
为保障饮用水管网细菌学水质安全，并实现对细菌总数指标的预测，选定北方某市实验小区饮用水管网为研究对象，应用Matlab软件建立BP神经网络的细菌总数预测模型．结果表明，BP神经网络
目的对口腔颌面外伤患者的临床处理方法以及治疗效果进行分析与评价。方法在本院2012年7月至2013年7月期间所收治的口腔颌面外伤患者当中选取172例患者为本次观察对象,随后对
目的：通过探讨中西医结合临床路径治疗慢性阻塞性肺疾病呼吸衰竭的临床疗效，旨在为临床科学治疗并提高患者生活质量提高呢理论依据。方法选择2013年1月至2014年1月在我院接受治
目的 探究分析对胃癌前TN分期中进行评估应用磁共振的临床价值。方法 选取我院2013年7月至2014年4月接受治疗的27例经胃镜活检确诊的胃癌患者作为临床研究对象,所有患者术前
在新媒体时代,传统的纸质媒体面对着巨大的挑战。在互联网的不断冲击下,曾经固定的盈利方式以及经营模式正在遭受不断的蚕食,而全新的盈利方式与经营模式仍在探索当中。在当
目的观察手动负压吸引用于早期人工流产的临床效果。方法选取2013年1-6月在宝应县计划生育指导站自愿行人工流产的健康妇女420例,随机分为观察组220例,采用一次性手动负压吸
目前我国处在社会转型的关键期,社会利益关系错综复杂,重大自然灾害、安全事故和社会安全事件时有发生,高校突发事件的出现也呈上升趋势。高校一旦发生突发事件,就会给学校、
本刊讯:2010年1月12日,中国首款橡木桶酿制的啤酒“蓝带1844”在哈尔滨万达索菲特酒店召开盛大的新品上市发布会,继北京、广州、武汉上市后,强势登陆黑龙江高端啤酒市场。省
根据我国啤酒行业的现状和啤酒企业集团化进一步的发展,论述了啤酒集团通过外部扩张来整合市场、扩大规模、提升品牌,通过内部管理来合理配置资源、提高质量、降低成本,通过