【摘 要】
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以生产LCD的垂直层流型工业用洁净厂房为研究对象，采用现场实测的方法，对洁净室内不同洁净度的两区域的气流分布进行了测量，分析了对气流造成影响的因素并提出了改善方案。研究
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以生产LCD的垂直层流型工业用洁净厂房为研究对象，采用现场实测的方法，对洁净室内不同洁净度的两区域的气流分布进行了测量，分析了对气流造成影响的因素并提出了改善方案。研究结果表明给偏流造成影响的主要因素有：位置以及地板风口的配置方式、栅格地板的开口率、下部空间的动力设备的干涉等，此外，隔断的设置位置和室内长度、下部空间的深度等也会给气流变化造成影响。
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