减小列阵光学系统小尺度不均匀性的方法研究

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应用衍射积分理论,通过详细的数值计算分析,讨论了用于减小列阵光学系统小尺度不均匀性的几种技术方法。所得结果与实验相符,对均匀照明光学系统的设计有参考意义。
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