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从电弧蒸发源控制技术和大颗粒过滤技术出发,论述了电弧离子镀技术最近的发展成果,并总结了电弧离子镀技术在氮化物、氧化物、非晶碳等薄膜方面的技术应用进展,以期能对我国电弧离子镀技术及其在硬质薄膜方面的应用起到一定的参考作用。
电弧离子镀技术及其在硬质薄膜方面的应用
【摘 要】
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从电弧蒸发源控制技术和大颗粒过滤技术出发,论述了电弧离子镀技术最近的发展成果,并总结了电弧离子镀技术在氮化物、氧化物、非晶碳等薄膜方面的技术应用进展,以期能对我国
【机 构】
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中国空间技术研究院,兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验室
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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2012年2期
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