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以快速热处理设备对温度控制的特殊要求为研究目的，研究温度热惯性对温度稳定性的影响，目的是为解决芯片快速退火和快速合金的稳定性和可靠性，并为设计新快速热处理设备提出串级控制建议。
快速热处理设备温度稳定性研究
【摘 要】
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以快速热处理设备对温度控制的特殊要求为研究目的，研究温度热惯性对温度稳定性的影响，目的是为解决芯片快速退火和快速合金的稳定性和可靠性，并为设计新快速热处理设备提出串级
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2009年6期
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