铝合金直接氮化生长氮化铝反应机制研究

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针对铝合金直接氮化生长AlN过程中的晶体生长过程进行分析,通过X-ray衍射和SEM观察,获得了不同生长阶段AlN晶体的生长特征,研究了铝合金直接氮化生长氮化铝的反应机制. 提出了一种气-液-固-固)晶体生长机制,简称VLSS机制,并着重对VLSS机制的实现条件、实现过程以及与传统的VLS晶体生长机制的相同点和差异进行了讨论.
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