【摘 要】
：
在碱性溶液中硅单晶片因晶向不同其刻蚀速率出现差异,利用这一特点制作三维结构器件;刻蚀速率与三维结构的形状和精度相关,刻蚀的表面粗糙度与器件的性能有关;根据各向异性腐
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十六研究所
论文部分内容阅读
在碱性溶液中硅单晶片因晶向不同其刻蚀速率出现差异,利用这一特点制作三维结构器件;刻蚀速率与三维结构的形状和精度相关,刻蚀的表面粗糙度与器件的性能有关;根据各向异性腐蚀机理可知,刻蚀速率强烈依赖单晶晶向,刻蚀温度和刻蚀液的组分也会对刻蚀速率产生显著影响;表面粗糙度主要是因为刻蚀时表面被反应生成的氢气泡覆盖,局部区域不能参加化学反应,导致这一区域出现凸起;在刻蚀液中加入添加剂使气泡迅速脱离反应表面能有效降低表面粗糙度,但刻蚀液不同所适用的添加剂不同。
其他文献
观叶组合盆栽的特点一是突出叶的美感，叶色、叶形、叶质；二是强健，低养护；三是观赏期长，可跨几个月，经久迷人。
谢晓荣自1987年起即参加了北京市插花艺术研究会，师从北京林业大学王莲英教师学习和研究中国传统插花艺术。由于具有良好的绘画艺术基础，她对中国传统花材的寓意和象征有着较深
【摘要】微型学习近年来在信息技术深度应用渗透下所产生的学习活动，是一种越来越引起人们的关注的新型学习形态。师范生作为一个即将加入教育教学职业的重要群体，他们的专业知识、教学理念和教学设计能力直接影响到学生的学习品质。本文就中文系师范生微课程设计开发能力培养这一问题展开探讨，提出要切实把握好微课程设计开发的立足根基、主体价值和实践效果。 【关键词】中文系；师范生；微课程；设计开发；能力培养 【中