【摘 要】
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<正> 在电子显微镜中,电子束通路污染将造成终象障碍。由于第一,电子束通路中有很多部件,包括聚光镜可动光栏、聚光镜固定光栏、物镜光栏、物镜消象散器屏蔽筒、防污染帽、中
【机 构】
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白求恩医科大学电镜室,白求恩医科大学电镜室
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<正> 在电子显微镜中,电子束通路污染将造成终象障碍。由于第一,电子束通路中有很多部件,包括聚光镜可动光栏、聚光镜固定光栏、物镜光栏、物镜消象散器屏蔽筒、防污染帽、中间镜和投影镜光栏等;第二,这些部件中任一部件污染,从对终象造成障碍来讲是等效的,这就给判断镜筒中污染部位造成了困难,同时也突出了正确识别镜筒污染部位的重要性。因为否则,不仅不能迅速排除故障,而且会因反复拆装镜筒而诱发出新污染或其它障碍。本文根据电子光学原理和工作经验,介绍一种分析镜筒污染部位的方法和程序,并以JEM-1200EX透
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