【摘 要】
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2017年6月21日,“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项（02专项）实施管理办公室组织专家在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所召开了“极紫外光刻关键技
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2017年6月21日,“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项（02专项）实施管理办公室组织专家在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所召开了“极紫外光刻关键技术研究”项目验收会。评审专家组充分肯定了项目取得的一系列成果,一致同意项目通过验收,认为该项目的顺利实施将我国极紫外光刻技术研发向前推进了重要一步。
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