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针对动态红外景物模拟器的应用要求,用磁过滤电弧离子镀方法制备了超薄氮化钛薄膜.制备的薄膜厚度介于7.5nm至75nm.重点研究了薄膜的微观结构、电阻温度系数、电阻温度稳定性、薄膜的微加工等性质.实验结果表明,氮化钛薄膜是一种良好的辐射电阻材料.
用于动态红外景物模拟器的超薄氮化钛薄膜
【摘 要】
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针对动态红外景物模拟器的应用要求,用磁过滤电弧离子镀方法制备了超薄氮化钛薄膜.制备的薄膜厚度介于7.5nm至75nm.重点研究了薄膜的微观结构、电阻温度系数、电阻温度稳定性
【机 构】
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西安工业学院光电微系统研究所
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2005年1期
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