软X射线平场光谱仪系统的优化设计

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：pengyechao

【摘要】

：

采用光线追踪和光路函数的方法,优化设计了具有超环面镜的前置光学系统的掠入射软x射线平场谱仪,得到了谱仪的谱分辨和空间分辨本领.波前像差理论和光线追踪程序得到结果均表

【作者】

：

刘运全张杰陈正林彭晓昱

【机构】

：

中国科学院物理研究所光物理实验室

【出处】

：

物理学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

软x射线平场谱仪光路函数光线追踪

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采用光线追踪和光路函数的方法,优化设计了具有超环面镜的前置光学系统的掠入射软x射线平场谱仪,得到了谱仪的谱分辨和空间分辨本领.波前像差理论和光线追踪程序得到结果均表明,优化设计后的软x射线平场谱仪系统在波长为4-45nm的光谱范围内具有很好谱分辨能力(λ/△λ＞1000)和空间分辨能力(优于40μm).

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