【摘 要】
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采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜表面制备气体阻隔层获得高阻隔薄膜产品。针对高阻隔薄膜阻隔性能异常现象,通过微观结构分析和膜层
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采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜表面制备气体阻隔层获得高阻隔薄膜产品。针对高阻隔薄膜阻隔性能异常现象,通过微观结构分析和膜层成分分析,确定了异常数据点出现的原因。并通过增加表面平坦化处理的方法,对高阻隔膜成膜工艺进行改进。
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