退火温度对Fe／Pr／Cu多层膜巨磁阻的影响

来源 :桂林电子科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：anglersss

【摘要】

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通过采用直流磁控溅射法制备Fe／Pr／Cu多层膜，并在不同温度下进行高真空退火，同时用X射线衍射仪和四探针测试仪测量不同温度下样品的结构和磁电阻，最终可获得具有一定的周期性和层

【作者】

：

韩庆艳成钢顾正飞黄治锋

【机构】

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桂林电子科技大学信息材料科学与工程系

【出处】

：

桂林电子科技大学学报

【发表日期】

：

2008年3期

【关键词】

：

Fe/Pr/Cu多层膜退火温度巨磁阻效应磁控溅射 Fe/Pr/Cu multilayers annealing temperature giant

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通过采用直流磁控溅射法制备Fe／Pr／Cu多层膜，并在不同温度下进行高真空退火，同时用X射线衍射仪和四探针测试仪测量不同温度下样品的结构和磁电阻，最终可获得具有一定的周期性和层状结构的多层膜Fe／Pr／Cu退火后其仍保持多层膜结构，但晶粒变大，磁电阻随磁场强度的增大而增大，GMR性能随退火温度的增大先增大后减小。Fe／Pr／Cu多层膜经不同温度相同时间热处理后，层问分离随温度的升高越来越明显，且磁电阻随温度的升高而增强。

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