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本文简要阐述了新型半导体器件2BT100固体放电管的研制,在设计上采取了多元胞结构,在制作上采用了双面扩散技术,提供了一些工艺过程,给出了一些测试数据.
新型多元胞结构2BT100固体放电管设计与工艺
【摘 要】
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本文简要阐述了新型半导体器件2BT100固体放电管的研制,在设计上采取了多元胞结构,在制作上采用了双面扩散技术,提供了一些工艺过程,给出了一些测试数据.
【机 构】
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无锡华晶微电子股份有限公司
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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2002年3期
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