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本文提出了脉冲约束刻蚀电化学微加工方法,从半无限和有限扩散脉冲约束刻蚀两个模型出发,从理论上探讨了它的可行性.
脉冲约束刻蚀微加工理论探讨
【摘 要】
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本文提出了脉冲约束刻蚀电化学微加工方法,从半无限和有限扩散脉冲约束刻蚀两个模型出发,从理论上探讨了它的可行性.
【机 构】
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河南师范大学物理与信息工程学院
【出 处】
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河南师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2003年2期
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