【摘 要】
：
采用高功率调制脉冲磁控溅射Al/(Al+Ti)原子比(x)分别为0.25、0.5和0.67的TiAlSi合金靶,溅射功率1~4kW,氮气分压25%,工作气压0.3Pa,在Si(100)和AISI304奥氏体不锈钢基片上沉
【机 构】
：
大连理工大学材料科学与工程学院表面工程实验室,湖南农业大学工学院
论文部分内容阅读
采用高功率调制脉冲磁控溅射Al/(Al+Ti)原子比(x)分别为0.25、0.5和0.67的TiAlSi合金靶,溅射功率1~4kW,氮气分压25%,工作气压0.3Pa,在Si(100)和AISI304奥氏体不锈钢基片上沉积了TiAlSiN纳米复合涂层。TiAlSiN涂层中氮含量保持在52.0at%~56.7at%之间,均形成了nc-TiAlN/a-Si3N4/AlN纳米晶/非晶复合结构。随着原子比x增加,非晶含量增加,涂层硬度先升高而后降低。当x=0.5时,硬度最高可达28.7GPa。溅射功率升高可提高溅射等离子体中金属离化程度,促进涂层调幅分解的进行,形成了界面清晰的非晶包裹纳米晶结构,且晶粒尺寸基本保持不变。当x=0.67时,溅射功率由1kW上升到4kW时,硬度由16.4GPa升至21.3GPa。不同靶材成分和溅射功率条件下沉积的TiAlSiN涂层的磨损率为(0.13~6.25)×10-5mm3/(N·m),具有优良的耐磨性能。当x=0.67,溅射功率2kW时,nc-TiAlN/a-Si3N4纳米复合涂层具有最优的耐磨性能。
其他文献
为实现济南市大气污染源的可视化和污染监测数据的空间化,根据PM10、SO2、NO2的大气检测环境指标,应用2009年的济南市大气污染的实测资料,分析了济南市不同季节的污染状况与
<正>国产3D动画电影《西游记之大圣归来》上映20多天,票房便突破8亿(截至8月4日)。一时之间,好评如潮。然而片尾字幕里滚动的近100位投资者名字,令众筹这一互联网金融投融资
随着互联网的普及,顾客网上购物进入高速增长时期。顾客网上购物行为受其购物过程体验的显著影响,而流体验则是最为重要的网上体验之一。本文正是从顾客流体验的角度,通过分
记号是汉字在发展演变过程被人们约定了读音和意义的文字符号,本身既不表音也不表意,是无法试用传统"六书理论"进行分析和归类的一种特殊汉字字符,它们可单独或与另一些汉字
目的:分析糖尿病足溃疡患者住院期间死亡的临床特点,探讨与死亡相关的风险因素。方法:收集上海交通大学医学院附属瑞金医院及远洋分院1年内所有住院的糖尿病足溃疡患者资料,
<正> 气性坏疽(又称梭状芽胞杆菌性肌坏死,梭状芽胞杆菌性肌炎)是战伤中的一种严重并发症。多在严重的大块肌肉伤的基础上发生急性扩散,常涉及一组肌肉,但感染却很快蔓延到整
自从1978年实行改革开放以来,中国经济发展取得了举世瞩目的成就,人们的物质生活水平也相应地得到了较大地提高。但是,人们对社会的不满并没有降低,频频出现的群体性事件便是
创新驱动发展，和追赶型经济最基本的标志在于放宽产业门槛，只要确定了负面的门槛，就不要让他进来，根据生态的要求，技术的要求不要让他进来就行了。所以在这样的背景下，从2014年观察
精神生产的地位、属性、作用、特点和规律再认识杨思基精神生产在人类社会生产中处于什么地位，具有什么属性、作用和特点？在社会主义市场经济条件下应当怎样发展社会主义的精神
<正>反思我们的写作教学,可以这样说:有多少未被关注的问题,也就会有更多的尚未尝试的办法。在这方面,许多一线教师做过有益的探索与尝试,也在不同层面上取得了成功,只是没有