【摘 要】
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目的提高聚碳酸亚丙酯（PPC）薄膜的阻隔性。方法采用等离子体增强化学气相沉积法在PPC薄膜表面上沉积SiOx层,并以阻氧性能为工艺评估指标。结果采用等离子体增强化学气相沉积法
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目的提高聚碳酸亚丙酯（PPC）薄膜的阻隔性。方法采用等离子体增强化学气相沉积法在PPC薄膜表面上沉积SiOx层,并以阻氧性能为工艺评估指标。结果采用等离子体增强化学气相沉积法可以在PPC薄膜表面沉积SiOx层,最佳工艺条件为沉积功率150 W、六甲基硅氧烷流量为6 m L/min,氧化流量为12 m L/min、沉积时间60 min,通过沉积SiOx层,PPC薄膜的阻氧性能得到了有效的提高。结论采用等离子化学气相沉积法在PPC薄膜上沉积SiOx层可明显提高对氧气、水蒸气和紫外线的阻隔性能,并保持原有韧性。
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