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随着材料科学与半导体工艺的飞速发展,各种新型的气敏材料与其相应的传感器件不断涌现。同时,这些新型的材料与器件也对气敏分析设备提出了新的要求。本文介绍了几种新型的气体传感器分析系统,并扼要地分析了今后的发展方向。
新型智能气体传感器分析设备
【摘 要】
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随着材料科学与半导体工艺的飞速发展,各种新型的气敏材料与其相应的传感器件不断涌现。同时,这些新型的材料与器件也对气敏分析设备提出了新的要求。本文介绍了几种新型的气体传感器分析系统,并扼要地分析了今后的发展方向。
【机 构】
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北京艾立特科技有限公司
【出 处】
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材料保护
【发表日期】
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2013年S2期
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