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介绍了３英寸ＶＧＡＴＦＴ－ＡＭＬＣＤ的主要缺陷形式。在采用冗余技术的基础上，研究了针对不同缺陷形式所应采取的不同的激光修补对策。由于加法激光修补仪价格昂贵，因此开发出了利用减法激光修补仪进行加法修补的独特工艺。
3英寸VGATFT—AMLCD缺陷的激光修补
【摘 要】
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介绍了３英寸ＶＧＡＴＦＴ－ＡＭＬＣＤ的主要缺陷形式。在采用冗余技术的基础上，研究了针对不同缺陷形式所应采取的不同的激光修补对策。由于加法激光修补仪价格昂贵，因此开发出了利用减法激光修补仪进行
【机 构】
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电子科技大学光电子技术系,重庆光电技术研究所
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1999年1期
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