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本文介绍了真空开关管真空度测量仪标定校准的研究成果,重点介绍了真空度测试仪动态对比法标定校准的原理,系统组成和机构,标定校准的工艺过程,并对校准带来的误差和干扰因素进行了汇总分析,通过分析,为进一步提高校准的精度提供了改进思路。
真空开关管真空度测量仪标定校准研究
【摘 要】
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本文介绍了真空开关管真空度测量仪标定校准的研究成果,重点介绍了真空度测试仪动态对比法标定校准的原理,系统组成和机构,标定校准的工艺过程,并对校准带来的误差和干扰因素
【机 构】
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北京真空电子科技有限公司;
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2004年期
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