【摘 要】
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洛伦兹电动机广泛应用于超精密制造装备中。为提高洛伦兹电动机的推力输出和快速响应性能,降低发热功率,提出了一种综合评价超精密工作台驱动电机性能的优化指标。基于该优化
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2009AA04Z148)
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洛伦兹电动机广泛应用于超精密制造装备中。为提高洛伦兹电动机的推力输出和快速响应性能,降低发热功率,提出了一种综合评价超精密工作台驱动电机性能的优化指标。基于该优化指标,采用COMSOL Mu l-tiphysics和M atlab联合仿真方法,对一种Halbach磁钢阵列构型的洛伦兹电动机进行了尺寸参数优化设计。样机实验证明,优化后的洛伦兹电动机推力可以达到26.3 N/A,同时保证电气时间常数小于1 m s。
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