【摘 要】
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针对ICF装置中大口径反射镜等光学元件快速更换和精确定位的要求 ,采用精确约束理论设计了Kelvin运动支承 ,建立了几何参数矩阵对结构的定位精度进行了理论计算 ,分析了产生
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械及精密仪器系,中国工程物理研究院结构力学研究所,中国工程物理研究院结构力学研究所,中国工程物理研究院结构力学研究所 合肥230027rrrrrrrrrn,绵
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针对ICF装置中大口径反射镜等光学元件快速更换和精确定位的要求 ,采用精确约束理论设计了Kelvin运动支承 ,建立了几何参数矩阵对结构的定位精度进行了理论计算 ,分析了产生误差的原因并对结构进行了改进 ,采用激光客观散斑法对样件的定位精度进行了测试 ,试验数据统计表明结构重复定位精度 (± 3σ) ;平移± 6 .2 μm ,转角± 2 .3″。
In order to meet the requirements of rapid replacement and precise positioning of optical components such as large aperture mirrors in ICF devices, the Kelvin motion support was designed by using exact constraint theory. The geometrical parameter matrix was established to calculate the position accuracy of the structure, and the reason of error And the structure was improved. The laser speckle speckle method was used to test the positioning accuracy of the samples. The experimental data showed that the structure repeats the positioning accuracy (± 3σ); the translation is ± 6.2 μm and the rotation angle is ± 2.3.
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