SiC晶须制备方法及应用

来源 :西安石油大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：angelboy8100

【摘要】

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目前生产SiCw(碳化硅晶须)的方法主要有气相反应法和固体材料法两大类．气相反应法应用最为普遍的是气相沉积法(CVD法)；固体材料法生产SiCw主要有VLS机理和VS机理．生产出的SiCw主

【作者】

：

宁叔帆刘晓霞马勇陈寿田

【机构】

：

西安交通大学电气工程学院,西安科技大学材料科学与工程学院,西安电子科技大学技术物理学院陕西西安710071

【出处】

：

西安石油大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

：

碳化硅晶须制备方法气相反应法固体材料法

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目前生产SiCw(碳化硅晶须)的方法主要有气相反应法和固体材料法两大类．气相反应法应用最为普遍的是气相沉积法(CVD法)；固体材料法生产SiCw主要有VLS机理和VS机理．生产出的SiCw主要用作高强度、高硬度结构材料的增强、增韧．使用SiCw增强、增韧的材料，可广泛用于航空航天、军事和民用等众多工业领域．

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