【摘 要】
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目的 提高A向蓝宝石抛光速率。方法 分别采用诱导法和种子法制备了非球形和球形钴掺杂硅溶胶,并应用于A向蓝宝石的化学机械抛光。采用扫描电子显微镜（SEM）、电感偶合等离子体发
【机 构】
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上海大学理学院,上海大学纳米科学与技术研究中心,中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金（51205387）,上海市优秀技术带头人项目（14XD1425300,14DZ2294900）
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目的 提高A向蓝宝石抛光速率。方法 分别采用诱导法和种子法制备了非球形和球形钴掺杂硅溶胶,并应用于A向蓝宝石的化学机械抛光。采用扫描电子显微镜（SEM）、电感偶合等离子体发射光谱仪（ICP）和X射线光电子能谱（XPS）检测产物颗粒的粒径及其分布、形貌、元素组成及存在状态等,采用CP-4抛光机对抛光速率进行验证,并用原子力显微镜测试抛光后的材料表面粗糙度,根据抛光后产物的XPS测试结果对抛光过程中的化学反应进行分析。结果 与纯硅溶胶相比,非球形钴掺杂硅溶胶抛光速率提高了37%,且表面粗糙度相近,而球形钴掺杂
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