【摘 要】
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正在研制的激光定位吊装结构工作台系统是电子束曝光机的主要组成部分。本文概述了工作台吊装结构的特点,用有限元法建立了吊装结构的三维实体力学模型,在理论上对其进行了动
【机 构】
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山东工业大学,山东工业大学,山东工业大学 山东省济南市 250014,山东省济南市 250014,山东省济南市 250014
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正在研制的激光定位吊装结构工作台系统是电子束曝光机的主要组成部分。本文概述了工作台吊装结构的特点,用有限元法建立了吊装结构的三维实体力学模型,在理论上对其进行了动态特性分析与计算,并用锤击法进行了测试。分析与实验表明,工作台吊装结构抗冲击能力很强,能够满足电子束曝光机高精度和高速度的要求。
The laser positioning and lifting structure workbench system under development is a major part of the electron beam lithography machine. In this paper, the characteristics of workbench hoisting structure are summarized. The three-dimensional solid mechanics model of hoisting structure is established by finite element method. The dynamic characteristics are analyzed and calculated theoretically, and tested by hammering method. Analysis and experiment show that the table lifting structure has strong impact resistance and can meet the requirements of high precision and high speed of the electron beam exposure machine.
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