论文部分内容阅读
介绍了利用ＬＩＧＡ技术中的同步辐射光刻、微电铸技术和微装配技术制作微流量计的研究，讨论了微流量计的结构和工作原理。设计和研制了一种微流量计。
LIGA技术制造微流量计的研究
【摘 要】
：
介绍了利用ＬＩＧＡ技术中的同步辐射光刻、微电铸技术和微装配技术制作微流量计的研究，讨论了微流量计的结构和工作原理。设计和研制了一种微流量计。
【机 构】
：
中国科学技术大学国家同步辐射实验室,中国科学技术大学国家同步?
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
2000年4期
其他文献
语文活动课是以语文知识为载体，以诱发、培养和发展学生的兴趣、爱好与特长为目的的课程。它与语文学科一样，共同担负着全面提高学生的语文综合能力，促进学生非智力因素和个性发
Ｅｅ－ＢＥＳ－４０光栅扫描电子束曝光机全部实现自动控制，为用户操作带来极大方便。本文简要论述该机的构成及调试中遇到的问题，重点论述真空自动化，送片机构的自动化，以及电子光柱调整的自动化。
本文介绍了分步重复投影光刻的ｉ线和ｇ线投影光刻镜主要技术指标，设计要点，研制中解决的关键单元技术和设计试制结果。
该文运用文献资料法、访谈法、问卷调查法等研究方法对山西省田径后备人才训练现状的进行了跟踪调查,并获取了详细的研究资料。在此基础上,从运动员人数、训练项目、训练动机
体育教学是一个教学体系中不可缺少的组成部分,也是学校体育工作当中最重要的环节。在我国教育教学体制实施改革的大背景下,高校体育教学也应该转变教学模式、创新教学思想、
[摘要]目的：分析美托洛尔联合胺碘酮治疗冠心病心律不齐的疗效。方法：选择2017年2月-2018年4月我院接受的74例冠心病心律不齐患者作为案例。按照编号随机分组。分别是甲组和乙组。分别采用的是胺碘酮以及美托洛尔联合胺碘酮治疗。治疗后对结果分析。结果：缽次研究中对两组患者的总有效率进行分析。乙组和甲组的有效人数分別是35例和28例。总有效率是94.5%和75.6%。对两组患者的并发症现象分析。甲组
本文介绍了我校研制的矢量扫描电子束曝光机中，扫描场非正交性畸变的校正情况，该机器的偏转系统为内透镜双磁偏转方式。
早在神农时期,荼及其药用价值就已被发现,并由药用演变成日常饮品。如今,喝养生茶成为一种时尚:抓一把菊花丢到热水中,再放几颗红枣、撒些枸杞……但用中药泡制的养生茶,需要
体育教育作为我国教育事业中的重要组成部分,也是整个国民体质的基础,我国体育事业的发展的重点内容,随着教育改革的深入发展,大学体育的改革也是势在必行。学校的体育中心内